2)第259章 突破14nm光刻机工艺_全球制造
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  没经验,再加上一些关键性的零部件被卡了脖子,只能通过自主研发。不过等到7nm时应该会很轻松。”

  首长闻言有些讶异道:“7nm?”

  孙立群再次抢着介绍道:“总L您没听错,正是7nm。

  我们和星海在研发14nm以及10nm的同时也在布局7nm,而且我们的7nm技术跟国外的稍稍有些不同……”

  首长听完后点点头,再次伸手拍拍陈序的手臂,“嗯,你是好样的!”

  陈序被夸的有些不好意思了,呵呵笑着没说话。

  一个小时后,下来考察调研的领导及随行人员乘坐考斯特离开了,陈序回到办公室直接瘫坐在了沙发里,说:“感觉比做十天实验还累。”

  跟进来的中星微电子总负责人张海春,笑呵呵道:“一般搞学术的人,都不怎么喜欢这种场合,等以后习惯了应该会好一些。”

  张海春是光刻机领域的大牛级人物,曾先后在ASML及台积电工作,甚至还被SMEE聘请为高级总工程师,不过后来因为某些原因离职了。

  他在国际学术圈的地位比周东林还牛掰。

  “呵呵,也许吧。”陈序说着坐起来点了一根烟,“超精密工件台的实验怎么样了?”

  “不怎么理想,目前实验最多只能到5nm,距离要求的2nm还有一定的差距,德国跟日苯那边……”

  陈序听了一会,然后一把把香烟摁灭,起身道:“走,带我过去看看。”

  光刻机和别的设备不一样,它里面大部分零部件都需要专门定制。

  什么意思呢,就是你想在市场上买配件来组装都不可能。

  而越高端定制的比例也越高,到了10nm这个级别,里面90%以上都是定制的。

  且不是你想定制就能定制的,得看上游厂商愿不愿意接你的订单。

  他之前花高价从荷兰买配件,就是因为那些配件如果全部自己生产的话,先不说短时间能不能生产出来,就算能做出来,价格也要贵上十倍都不止!

  不过以后不行了,欧美日韩对星海进行了全面的技术封锁,荷兰那边已经pass掉XHZZ的订单申请。

  不仅仅是荷兰,德国跟日苯那边的零部件订单也毁约了,导致最关键的超精密工件台一直不能达到满意要求。

  来到实验室,陈序控制机器人调校超精密工件台,而小白则根据电脑上的反馈结果重新编写控制程序。

  一遍、两遍、十遍……

  这一做就是十二小时,饿的实在撑不住了才出去吃一点,然后继续全身心的投入到实验中来。

  超精密机械的调校是非常耗费时间精力的,像米国Cymer、德国蔡司的工程师对每一个部件的调校次数都有可能高达十年以上。

  当然,陈序不可能像那些工程师一样,花费十年去调校一个零部件,也不需要。

  

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